12618 W. Wayt Gibbs/Klaus-Dieter Linsmeier: Mikro-Mikrophone.
Spektrum 1999/7, 90.

5472 Bernhard Kneissel: Mikrostrukturen in Massenfertigung.
Spektrum 1993/4, 116-118. Nahe der Universitaet Dortmund entsteht ein 
Zentrum fuer Mikrostrukturtechnik. Ein Konsortium will dort die neuartige 
LIGA-Technik zur industriellen Produktion von Miniatursystemen und 
Miniaturkomponenten einsetzen. Das Akronym LIGA steht fuer Lithographie, 
Galvanisierung und Abformung.

6995 Wolfgang Kuehnel: Neuartige Mikrophone in Silicium-Technologie.
Spektrum 1995/7, 20-24. Mit Verfahren der Mikromechanik lassen sich
elektroakustische Wandler auf Halbleiter-Chips fertigen. Ihre Eigenschaften
koennen trotz der winzigen Abmessungen mit denen herkoemmlicher Mikrophone
konkurrieren.

5926 Wolfgang Menz: Die Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungsgebiete.
Spektrum 1994/2, 92-99.

5927 Juergen Mohr/Manfred Strohrmann/Olaf Fronheim/Klaus Lindemann: Ein 
Beschleunigungssensorsystem in LIGA-Technik. Aufbau und Eigenschaften.
Spektrum 1994/2, 99-105.

5928 Wilfried Mokwa: Kleinste mechanische Elemente fuer die monolithische 
Integration in Mikrosystemen. Spektrum 1994/2, 106-107.