6995 Wolfgang Kuehnel: Neuartige Mikrophone in Silicium-Technologie.
Spektrum 1995/7, 20-24. Mit Verfahren der Mikromechanik lassen sich
elektroakustische Wandler auf Halbleiter-Chips fertigen. Ihre Eigenschaften
koennen trotz der winzigen Abmessungen mit denen herkoemmlicher Mikrophone
konkurrieren.